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以ＳｎＣｌ４液体为锡源用ＭＯＰＥＣＶＤＥ方法制备出了ＳｎＯ２薄膜，用Ｘ射线衍射仪和透射电镜（ＴＥＭ）分析了薄膜的晶体结构和ＳｎＯ２晶体的颗粒度，优化出制备超微颗粒ＳｎＯ２薄膜的最佳工艺，并给出此膜蒸发上电极，制成ＳｎＯ２气敏器件，测量其对乙醇的气敏特性，实验证明减小ＳｎＯ２晶体的粒度可以改进元件的气敏特性。