【摘 要】
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针对半导体材料、器件生产工艺中的废气和废水的治理,介绍了三种不同的方法和相关设备.①利用碘盐、铜盐和锰盐以及多级逆向喷淋的设备对实验室MOVPE工艺尾气及砷化镓材料制
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针对半导体材料、器件生产工艺中的废气和废水的治理,介绍了三种不同的方法和相关设备.①利用碘盐、铜盐和锰盐以及多级逆向喷淋的设备对实验室MOVPE工艺尾气及砷化镓材料制备中砷烷、磷烷污染的治理.②生产规模的半导体材料砷化镓,磷化姻,重掺砷硅单晶材料及器件的工艺中,腐蚀间排放的废气中砷、磷、硫、氟、氯及氮氧化物酸根离子的治理.用椭圆隔板式喷淋吸收塔或双塔式喷淋吸收设备,用氧化剂及碱液吸收的治理方法.③治理半导体工艺废水中砷、总磷、各种酸及重金属等的污染.用碳酸钙中和后,加铁盐经絮凝沉降一体化装置治理废水.经治
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