【摘 要】
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三、波导薄膜光学参数的测量方法 光学薄膜性能是由其光学参数来衡量的。其主要光学参数有:薄膜的折射率、消光系数。下面介绍一种测定透明薄膜折射率(n_2)、消光系数(K)的
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三、波导薄膜光学参数的测量方法 光学薄膜性能是由其光学参数来衡量的。其主要光学参数有:薄膜的折射率、消光系数。下面介绍一种测定透明薄膜折射率(n_2)、消光系数(K)的方法。由此法还可测出膜厚。 如图12所示,透明膜折射率为n_2、厚度
Third, the waveguide film optical parameters measurement Optical film performance is measured by its optical parameters. The main optical parameters are: film refractive index, extinction coefficient. The following describes a method for measuring the refractive index (n_2) and extinction coefficient (K) of a transparent film. This method can also measure the film thickness. As shown in Fig. 12, the refractive index of the transparent film is n_2, the thickness
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