STM在微加工中的应用

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由王大文博士、白春礼研究员所撰写的这篇文章,学部委员朱洪元先生的评语是:“本文介绍了扫描隧道显微镜(STM)在微细加工中的应用,内容充实,表达清晰,是介绍最近几年才开始发展起来的这一领域的一篇很好的文章,可以在本刊发表.”王大文,女,1962年12月出生,1990年获清华大学工学博士学位.曾经从事分子束外延(MBE)及金属/半导体界面方面的基础研究工作,现在中国科学院化学研究所从事扫描隧道显微学及材料表面结构方面的研究工作.已在国内外学术刊物上发表论文十余篇.白春礼,男,1953年9月26日出生.中国科学院化学研究所研究员,扫描隧道显微学研究室主任.1985年获博士学位,1985—1987年在美国加州理工学院做博士后研究,主要从事扫描隧道显微术和扩展X射线吸收精细结构谱(EXAFS)的工作.从事的研究领域有扫描隧道显微学、X射线晶体学、分子力学和结构化学.主持研制的扫描隧道显微镜获1990年国家科技进步二等奖,主持研制的原子力显微镜获中科院科技进步一等奖.另外作为负责人或主要参加者的项目获三项中科院科技进步二等奖,并获中国科协青年科技奖、中科院青年科学家奖、中国化学会青年化学奖,有突出贡献的博士学位获得者和全国先进工作者称号.在国内外学术刊物上共发表文章60余篇.现任中国材料研究学会理事、? This article, written by researcher Wang Da-wen and researcher Bai Chunli, is commented by academician Mr. Zhu Hongyuan: “This article introduces the application of scanning tunneling microscope (STM) in micromachining. The content is substantial and the expression is clear. An excellent essay in this field that started to be developed can be published in this journal. ”Wang Dafen, female, born in December 1962 and a Ph.D. in engineering from Tsinghua University in 1990, once worked in molecular beam epitaxy (MBE) and Metal / semiconductor interface research work, and now the Chinese Academy of Sciences Institute of Chemistry engaged in scanning tunneling microscopy and surface structure of the material has been published in academic journals at home and abroad more than ten articles.Bai Chunli, male, 1953 He was born on September 26. Researcher at the Institute of Chemistry, Chinese Academy of Sciences, director of the Tunneling Microscopy Laboratory, Ph.D., 1985, postdoctoral research, California Institute of Technology, 1985-1987, mainly engaged in scanning tunneling microscopy and X X-ray crystallography, molecular mechanics, and structure. His research interests include scanning tunneling microscopy, X-ray crystallography, molecular mechanics and structure The host tunneling microscope won the second prize of National Science and Technology Progress Award in 1990. The AFM under the auspices of the institute won the first prize of progress in science and technology by the Chinese Academy of Sciences and the second prize of three scientific and technological progress by the CAS as the principal or principal participant And won the title of “Young Scientist Award of Chinese Association for Science and Technology, Young Scientist of Chinese Academy of Sciences, Young Chemistry Prize of Chinese Chemical Society, Doctor’s Degree with Outstanding Contribution, and Advanced Worker of the Nation.” He has published over 60 articles in academic journals at home and abroad. IncumbentChina Materials Research Association,?
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