物面单反射镜波前分割三光束全息干涉计量研究

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提出了一种用于分析物体三维位移场的全息干涉计量新方法。该方法将一个小平面反射镜贴于被测物体的表面,用三束呈空间分布的发散光波,在干版的三个不同区域或同一部位,记录被测物体的三个独立的双曝光干涉图。这些干涉图被由小平面反射镜运动造成的参考光虚点光源的位移所调制。基于对这种调制的理论分析,导出计算参考光虚点光源和被测物体三维位移的二个线性方程组。 A new method of holographic interferometry for the analysis of 3D displacement fields is proposed. In this method, a facet mirror is attached to the surface of the object under test. Three independent double-exposure interferences of the measured object are recorded in three different regions or the same part of the dry plate by using three scattered light waves spatially distributed. Figure These interferograms are modulated by the displacement of the reference point dummy point source due to the facet mirror movement. Based on the theoretical analysis of this modulation, two linear equations for calculating the three-dimensional displacement of the reference light virtual point light source and the measured object are derived.
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