【摘 要】
：
在集成电路可制造性设计研究中,成品率与可靠性之间的关系模型备受人们关注.缺陷对成品率和可靠性的影响不仅与出现在芯片上的缺陷粒径大小有关而且与缺陷出现在芯片上的位置
【基金项目】
：
陕西省科技厅计划项目（No.SJ08-ZT13）
论文部分内容阅读
在集成电路可制造性设计研究中,成品率与可靠性之间的关系模型备受人们关注.缺陷对成品率和可靠性的影响不仅与出现在芯片上的缺陷粒径大小有关而且与缺陷出现在芯片上的位置有关.本文主要考虑了出现在互连线上的金属丢失物缺陷对互连线的影响,分析了同一粒径的缺陷出现在互连线不同位置对互连线有效宽度的影响,给出了基于缺陷均匀分布的互连线平均有效宽度,结合已有成品率和可靠性估计模型,提出了基于缺陷位置信息的集成电路制造成品率与可靠性之间的关系模型.在工艺线稳定的情况下,利用该工艺线的制造成品率可以通过该关系式有效地估计出产
其他文献
<正>中国古代大哲学家老子曾说:"大音希声,大象无形。""大音希声",是说最完美的音乐是人们听不到的音乐自身;而"大象无形",就是说最大的形象是人们看不见形迹的"道"。至美的
目的了解景德镇市县级以下医疗机构传染病报告质量的现状,找出传染病报告质量的主要影响因素。方法对全市63家县级以下医疗机构开展现场调查,应用卡方自动交互检测法（CHAID）方
文章提出了一种估计单分量正弦调频信号参数的新算法,详细分析并推导得到了调制指数与幅度两个参数的理论估计精度.仿真结果表明,在较高信噪比条件时（SNR〉-3dB）论文所提算法的
目的对比胃三角吻合术和BillrothⅠ吻合术在腹腔镜远端胃癌根治术中的短期疗效,为临床手术方式的选择提供理论依据。方法选取在我院行腹腔镜远端胃癌根治术的患者45例。将行
目的观察铥激光系统治疗良性前列腺增生（BPH）的疗效及安全性。方法应用TK-2120型铥激光治疗系统治疗BPH患者302例,记录患者的手术时间、血红蛋白降低指数、血钠降低指数、膀胱
针对动态可重构处理器的配置信息加载延时,提出了一种基于神经网络的可扩展的重构指令预取机制.增加感受器的历史指令信息,并结合感受器权重构建新型的感受器模型,通过权重与