多层共烧陶瓷在MCM-C中的应用及其可靠性

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评述了应用于MCM-C的多层共烧陶瓷的材料选择、工艺过程与控制,通过对多芯片组件系统的应力失效、损伤机理、热分析及关键工艺的过程控制的探讨,试图找出多层共烧陶瓷对MCM的可靠性的影响.
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