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为了改善硅微机械扭转微镜的机电耦合特性，降低器件的驱动电压并提高其工作可靠性，提出了几种新颖的基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜．提出的硅微机械扭转微镜将垂直扭转梳齿静电驱动结构、侧壁平行板电容静电驱动结构有机结合，实现了两种静电驱动方式的复合驱动，同时设计了内外双镜面结构，通过内外双镜面结构，实现了微镜的差动复合驱动，理论分析、模拟仿真与测试结果表明，通过上述两个方面新颖的设计，新结构显著降低了器件的驱动电压．同时为了提高器件的工作可靠性，在设计折叠梁柔性支撑结构时，将梁的不同位置设计成不同的厚度，