【摘 要】
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基于Cube压头的Ti-SiO2-TiO2和Ti-TiO2-SiO2涂层材料压痕实验并利用Dukino、Pharr、Harding和Zhang提出的断裂韧性计算公式计算两种涂层材料的断裂韧性值，通过四个公式断裂韧
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基于Cube压头的Ti-SiO2-TiO2和Ti-TiO2-SiO2涂层材料压痕实验并利用Dukino、Pharr、Harding和Zhang提出的断裂韧性计算公式计算两种涂层材料的断裂韧性值，通过四个公式断裂韧性计算结果与参考文献结果对比验证其有效性。结果显示Dukino、Pharr、Harding和zhang公式最大误差分别为6.6%、14.1%、2.9%和26%，因此Dukino和Harding公式识别精度比较高，可以适用于涂层材料断裂韧性的测试。
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