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通过计算,指出美国军用标准MIL-STD-750E《半导体器件试验方法》的方法1071.8中的氦质谱检漏的固定方法和灵活方法判据的宽严程度有明显的差异,多数情况下超过一个数量级。建议在参考此类标准和执行类似标准时应加以注意。
标准中氦质谱检漏试验判据的研究
【摘 要】
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通过计算,指出美国军用标准MIL-STD-750E《半导体器件试验方法》的方法1071.8中的氦质谱检漏的固定方法和灵活方法判据的宽严程度有明显的差异,多数情况下超过一个数量级。建
【机 构】
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中国电子科技集团公司第五十五研究所
【出 处】
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电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
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2011年3期
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