线性激光微位移非接触测量传感器

来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 2次 | 上传用户:zengqz
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采用轴向位移转换法的线性激光微位移非接触测量传感器,它具有可测倾斜角大、像面上圆环半径的大小与位移量成线性关系、可判断倾斜方向并计算倾斜角度的特点。其工作原理就是将被测点相对于系统物方焦点的踞离的变化转换成像面上圆环大小的变化,从而实现微位移量的测量。
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