【摘 要】
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近日,应用材料公司宣布推出Applied Vantage Vulcan快速热处理(RTP)系统,推动最先进纳米级晶体管制造的发展。该系统超越了当前的RTP技术,将退火工艺的精确性和控制性提高到
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近日,应用材料公司宣布推出Applied Vantage Vulcan快速热处理(RTP)系统,推动最先进纳米级晶体管制造的发展。该系统超越了当前的RTP技术,将退火工艺的精确性和控制性提高到了一个新的水平,为芯片制造商减少了可变性并大幅提高了其高价值高性能器件生产的成品率。
Recently, Applied Materials announced the launch of Applied Vantage Vulcan Rapid Thermal Processing (RTP) system to promote the development of the most advanced nano-transistor manufacturing. The system surpasses current RTP technology to take the precision and control of the annealing process to a new level, reducing variability for chipmakers and dramatically increasing the yield of their high-value, high-performance devices.
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