f-theta物镜非线性扫描误差的检测研究

来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tian358120

【摘要】

：

在振镜和f-(θ)线性扫描物镜构成的线性扫描机构中,f -(θ)物镜的设计、加工误差会引起一定的非线性扫描误差,影响扫描成像的质量.为了检测f-(θ)物镜的非线性扫描误差,使用基于线阵CCD的检测电路和扫描光点位置检测算法进行了实验研究,得到了可用于校正的扫描光点位置以及振镜摆角的对应关系曲线和f-(θ)物镜的非线性扫描误差曲线.

【作者】

：

郑旭峰倪旭翔陆祖康王立强

【机构】

：

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027

【出处】

：

光电工程

【发表日期】

：

2004年31期

【关键词】

：

生物芯片扫描仪 f -(θ)物镜非线性扫描误差误差检测

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