【摘 要】
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本文叙述了可变矩形电子束曝光机激光定位工件台的结构特点及所达到的各项指标。
This paper describes the structural characteristics of the variable beam electron be
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,
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本文叙述了可变矩形电子束曝光机激光定位工件台的结构特点及所达到的各项指标。
This paper describes the structural characteristics of the variable beam electron beam exposure machine laser positioning table and reached the various indicators.
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