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描述了一台电子回旋共振离子源的设计、结构及特性。为了获得离子源的长寿命、较高的等离子密度以及高效的传输微波功率，利用合适的三层微波输入窗（石英、Al2O3rap瓷和BN）是很有效的。采用两个带有磁轭的螺线管线圈能够产生满足共振条件（87．5mT）和约束等离子的轴向磁场。利用本源离解CH4—NH3制备成三种C：N膜，经真空退火后，其中两种C：N膜裂解成不同粗细的团簇纤维。