Te-free SbBi thin film as a laser heat-mode photoresist

来源 :ChineseOpticsLetters | 被引量 : 0次 | 上传用户：xffys3

【摘要】

：

A Te-free binary phase change material SbBi is proposed as a new inorganic photoresist for heat-mode lithography. It shows good film-forming ability (surface roughness

【作者】

：

KuiZhang ZhengweiWang GuodongChen YangWang AijunZeng JingZhu SyarheiAvakaw HeorgiTsikhanchuk

【机构】

：

LaboratoryofMicro-NanoOptoelectronicMaterialsandDevices,KeyLaboratoryofMaterialsforHigh-PowerLaser,S

【出处】

：

ChineseOpticsLetters

【发表日期】

：

2019年17期

【关键词】

：

310.6845 140.3380

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A Te-free binary phase change material SbBi is proposed as a new inorganic photoresist for heat-mode lithography. It shows good film-forming ability (surface roughness

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