【摘 要】
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微波等离子体化学气相沉积装置用于制备纳米金刚石膜和纳米金刚石真空窗口,气源为H2、CH4、Ar和少量O2。扫描电镜、拉曼光谱、X射线衍射仪、原子力显微镜用于表征和分析纳米
【机 构】
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武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室;
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(11575134)
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微波等离子体化学气相沉积装置用于制备纳米金刚石膜和纳米金刚石真空窗口,气源为H2、CH4、Ar和少量O2。扫描电镜、拉曼光谱、X射线衍射仪、原子力显微镜用于表征和分析纳米金刚石膜,自制的漏气率测量装置测出纳米金刚石真空窗口漏气率。结果表明:金刚石膜厚20μm、表面平均粗糙度Ra=34. 6 nm,平均晶粒尺寸35 nm,金刚石窗口漏气率为2. 78×10-9Pa·m3/s。
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