【摘 要】
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国外离子注入机发展动态随着超大规模集成电路的迅速发展，为适应中００、０．５μｍ工艺的需求，国外出现了多种新型的中束流、大束流、高能离子注入机，现将其现状介绍如下：新型中束流离子注入
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国外离子注入机发展动态随着超大规模集成电路的迅速发展，为适应中００、０．５μｍ工艺的需求，国外出现了多种新型的中束流、大束流、高能离子注入机，现将其现状介绍如下：新型中束流离子注入机大多采用平行束扫描方式、束的平行度优于０．５度。２００ｍｍ晶片内注入...
Development of foreign ion implanter With the rapid development of very large scale integrated circuits, in order to meet the needs of the 00 and 0.5μm processes, many new types of medium beam, large beam and high energy ion implanters have appeared in foreign countries. The status quo introduced as follows: The new beam ion beam implanter are mostly parallel beam scanning method, beam parallelism better than 0.5 degrees. 200mm wafer injection ...
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