【摘 要】
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在同一介质上，应用集成电路微细加工技术制作出尺寸在微米范畴的微机械部件，微传感器，微传动装置并将它们与微电子线路在一起形成高性能的闭环控制的微电子机械系统是一门新兴的
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在同一介质上，应用集成电路微细加工技术制作出尺寸在微米范畴的微机械部件，微传感器，微传动装置并将它们与微电子线路在一起形成高性能的闭环控制的微电子机械系统是一门新兴的边缘学科，也开辟了一个全新的工业加工领域，本文简述了微电子机械系统的研究现状及其基础技术。
On the same medium, microelectromechanical systems using micro-machining of integrated circuits to make micromechanical components, micro-sensors and micro-actuators in the micrometer range and to combine them with microelectronic circuits to form high-performance closed-loop control Emerging edge disciplines, but also opened up a whole new field of industrial processing, this article briefly describes the current status of microelectromechanical systems and its basic technology.
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