【摘 要】
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首次提出了用磁控溅射方法制备光栅常数d在10 nm量级的透射式闪耀光栅的新方法的设想,并以基于层间界面全反射的透射式闪耀光栅为模型讨论了该光栅的性能。给出了两个在“水窗口”波段的设计实例,理论计算结果:角色散率为5.7°/nm；λ/△λ≈104。另一个有益的结果是作者发现LiF、LiBO2等锂化物在“水窗口”波段有很高的透过率,这在应用上很有意义。
【机 构】
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中国科学院高能所同步辐射室,北京100039
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首次提出了用磁控溅射方法制备光栅常数d在10 nm量级的透射式闪耀光栅的新方法的设想,并以基于层间界面全反射的透射式闪耀光栅为模型讨论了该光栅的性能。给出了两个在“水窗口”波段的设计实例,理论计算结果:角色散率为5.7°/nm；λ/△λ≈104。另一个有益的结果是作者发现LiF、LiBO2等锂化物在“水窗口”波段有很高的透过率,这在应用上很有意义。
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