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针对等离子体渗氮工艺过程中存在的转子流量计测量不准、调节精度低、质量流量控制器价格高、电磁阀失效等问题,设计了一种新的等离子体渗氮流量控制系统,该系统具有精度高、响应快、性能稳定、价格低的特点.
等离子体渗氮流量控制系统的研究
【摘 要】
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针对等离子体渗氮工艺过程中存在的转子流量计测量不准、调节精度低、质量流量控制器价格高、电磁阀失效等问题,设计了一种新的等离子体渗氮流量控制系统,该系统具有精度高、
【机 构】
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中南民族大学电子信息工程学院
【出 处】
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中南民族大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2003年3期
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