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文章采用基本物理参量，对于平板放电系统，探讨了高频放电的扩散机制和微放电机制。提出并采用等效特征扩散长度的概念，将高频气体击穿和真空击穿联系在一起。研究结果表明，在使用等效特征扩散长度后，由扩散机制计算出的高频击穿电场与实验更加吻合。此外，等效特征扩散长度表达式中的系数，与电极材料2次电子发射系数特性曲线中的第一交叉点能量密切相关。