【摘 要】
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本文根据微加速度计的结构特点,分析了单晶硅的力学特性,并且利用有限元方法对微电容式加速度计敏感芯片弹性梁的刚度、应力、应变进行了分析。
In this paper, according t
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所,中国工程物理研究院电子工程研究所,中国工程物理研究院电子工程研究所 成都市 610003,成都市 610003,成都市 610003
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本文根据微加速度计的结构特点,分析了单晶硅的力学特性,并且利用有限元方法对微电容式加速度计敏感芯片弹性梁的刚度、应力、应变进行了分析。
In this paper, according to the structure characteristics of micro-accelerometer, the mechanical properties of single-crystal silicon are analyzed, and the stiffness, stress and strain of micro-capacitive accelerometer-sensitive chip elastic beam are analyzed by finite element method.
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