基于材料去除的微制造技术发展

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这里将微机械制造技术分为材料去除技术、材料沉积(增材)制造技术和变形制造技术,对基于材料去除的微制造技术的原理、方法、特点、应用和发展现状进行了比较和综述,在此基础上对微制造技术的发展方向作出了预测.
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