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期刊论文
基于材料去除的微制造技术发展
基于材料去除的微制造技术发展
来源 :机械设计与制造 | 被引量 : 0次 | 上传用户:auh123123
【摘 要】
:
这里将微机械制造技术分为材料去除技术、材料沉积(增材)制造技术和变形制造技术,对基于材料去除的微制造技术的原理、方法、特点、应用和发展现状进行了比较和综述,在此基础
【作 者】
:
李莉
齐乐华
徐林峰
杨方
【机 构】
:
西北工业大学
【出 处】
:
机械设计与制造
【发表日期】
:
2005年4期
【关键词】
:
材料去除
MEMS
微加工
Material removalMEMSMicro-machining
【基金项目】
:
航天支撑技术基金
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这里将微机械制造技术分为材料去除技术、材料沉积(增材)制造技术和变形制造技术,对基于材料去除的微制造技术的原理、方法、特点、应用和发展现状进行了比较和综述,在此基础上对微制造技术的发展方向作出了预测.
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