【摘 要】
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为研究锐钛矿TiO2薄膜经200 keV He+辐照改性后的结构、形貌和性能变化,并探索其变化机制,利用多弧离子镀技术制备一批具有统一工艺参数的锐钛矿TiO2薄膜,在室温环境下进行能
【基金项目】
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国家自然科学基金(面上项目)(11475119)
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为研究锐钛矿TiO2薄膜经200 keV He+辐照改性后的结构、形貌和性能变化,并探索其变化机制,利用多弧离子镀技术制备一批具有统一工艺参数的锐钛矿TiO2薄膜,在室温环境下进行能量为200 keV,注量为1×1016ions/cm2、5×1016ions/cm2和1×1017ions/cm2的He+薄膜辐照实验。结合未辐照样品且经一系列表征可知,XRD、XPS结果显示辐照后薄膜相结构无明显变化,表面部分Ti4+转化为Ti3+,并出现表面吸附O2分子的情况;SEM、TEM、
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