【摘 要】
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本文所研究的扫描式线宽测量仪是一种带光度测量的非接触式测量精密线宽的显微镜,可以对微小尺寸上反映出来的光度变化通过光电转换变成电信号经A/D输入计算机进行数据处理,
【机 构】
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浙江大学光仪系,浙江大学光仪系,浙江大学光仪系 310027,310027,310027
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本文所研究的扫描式线宽测量仪是一种带光度测量的非接触式测量精密线宽的显微镜,可以对微小尺寸上反映出来的光度变化通过光电转换变成电信号经A/D输入计算机进行数据处理,并且将处理结果以距离——强度形式显示出来,测量精度可达1.3μm。
In this paper, the scanning linewidth measuring instrument is a non-contact measurement with a photometric precision linewidth microscope can reflect the changes in the photometric changes of small size through photoelectric conversion into electrical signals through the A / D input computer Data processing, and the results of the treatment of distance - intensity form, the measurement accuracy of up to 1.3μm.
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