近场天线和高速示波器探测ESD的测量能力分析

来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hanqianggege

【摘要】

：

现有用来做ESD核查和评估的计量方法是测量静电场与/或电荷。这些参数并不能直接表征ESD事件，即对能导致器件失效的机器性能做出精确评估方面，它们无能为力。电场天线和Tektron

【作者】

：

石林初

【机构】

：

无锡华晶微电子股份有限公司

【出处】

：

集成电路应用

【发表日期】

：

2002年5期

【关键词】

：

近场天线高速示波器 ESD 测量能力分析器件失效 MCA 球形栅阵 BGA

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现有用来做ESD核查和评估的计量方法是测量静电场与/或电荷。这些参数并不能直接表征ESD事件，即对能导致器件失效的机器性能做出精确评估方面，它们无能为力。电场天线和Tektronix TDS754C500Mhz示波器装置，通过辐射的电磁干扰EMI（electromagnetic interference)来检测ESD事件。为了将此建成一种计量工具，电场天线/示波器装置是通过测量能力分析MCA（measurement capability analysis)的技术来表征的。一个Keytek512激励源用来模

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