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利用气相色谱-质谱联用法对羰基硫纯气进行纯度分析。采用质谱扫描直接对杂质化合物进行定性分析,确定了羰基硫纯气中的杂质气为二氧化碳、硫化氢和氮气。选择了单点外标法和归一化法定量测定了羰基硫纯气中二氧化碳、硫化氢和氮气的摩尔分数,并对其不确定度进行了评价,得到羰基硫纯气中羰基硫的摩尔分数为(0.9855±0.0040)mol/mol。