【摘 要】
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VCT(Vacuum coating technology真空镀膜技术)是现阶段较为先进的材料合成及加工技术,系统经VC(Vacuum chamber真空室)、泵组、电源以及控制系统构成。VCT的电源是整个工艺的
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VCT(Vacuum coating technology真空镀膜技术)是现阶段较为先进的材料合成及加工技术,系统经VC(Vacuum chamber真空室)、泵组、电源以及控制系统构成。VCT的电源是整个工艺的主要构成因子,VCT的电源性能会从根本影响镀膜工艺的流畅性和质量。目前RF辉光放电镀膜装置大多以RFPS(Radio Frequency power supply射频电源)为主,而经调整VC内环境去改变VC两侧偏压系数,具有较强的制约性。为了从根本改善镀膜工艺,要设计出RF和DC(直流电源powe
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