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为了得到MOCVD工艺生长过程中石墨盘的温度分布,提出了基于红外测温法的非接触无损测量方法,使用自主研发的双波长红外测量仪,能够得到石墨盘的径向和圆周温度分布情况,对MOCVD的加热炉结构改进和工艺过程控制有很大的指导意义。
基于红外测温法的MOCVD工艺温度分析
【摘 要】
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为了得到MOCVD工艺生长过程中石墨盘的温度分布,提出了基于红外测温法的非接触无损测量方法,使用自主研发的双波长红外测量仪,能够得到石墨盘的径向和圆周温度分布情况,对MOC
【机 构】
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华中科技大学机械科学与工程学院,广东昭信半导体装备制造有限公司
【出 处】
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计量与测试技术
【发表日期】
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2012年4期
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