【摘 要】
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环形磁场金属等离子体源作为一种全新的等离子体源结构,可用于产生高度离化、无大颗粒、高密度的离子束流,但传统流道结构不能保证其高效、均匀散热,大功率工作时可能引起密
【机 构】
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华南理工大学机械与汽车工程学院,香港城市大学物理与材料科学系,寰球工程项目管理公司（北京）有限公司
【基金项目】
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国家自然科学基金(批准号:52005187,51705157,51905177),广东省基础与应用基础研究基金(批准号:2019A1515110065),中国博士后科学基金(批准号:2019M662909),中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:2019MS063)资助的课题.
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环形磁场金属等离子体源作为一种全新的等离子体源结构,可用于产生高度离化、无大颗粒、高密度的离子束流,但传统流道结构不能保证其高效、均匀散热,大功率工作时可能引起密封胶圈的烧蚀失效,需对其冷却流场进行优化设计.利用Solidworks Flow Simulation软件对等离子体源冷却流道进行模拟,分析出入水孔分布角度、孔数、孔径以及入水孔高度对冷却效果的影响规律,并对流道结构参数进行优化.结果表明,增大水孔的周向分布范围,有利于提高散热的均匀性;入水孔设置在结构上层有利于减少冷却水的温度分层现象,使铜套和
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