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金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)是用于ULSI中的重要器件。现在,我们评述从MOSFET的起始,直到在ULSI中应用时期的主要里程碑,并且讨论MOSFET功能的未来趋势。
金属氧化物半导体场效应晶体管之发展——从起始到ULSI
【摘 要】
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金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)是用于ULSI中的重要器件。现在,我们评述从MOSFET的起始,直到在ULSI中应用时期的主要里程碑,并且讨论MOSFET功能的未来趋势。
【机 构】
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交通大学电子研究所教授台湾新竹
【出 处】
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航空精密制造技术
【发表日期】
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1993年1期
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