【摘 要】
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由于厚膜混合集成电路的基板键合区残留玻璃相、平整性差以及组装过程中易引入沾污，采用常规的BBOS进行芯片与基板互联时，键合不粘、短线尾异常较多。本研究采用BSOB模式键合，消
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十四研究所;
【基金项目】
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模拟集成电路国家重点实验室基金资助项目(6142802040805)
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由于厚膜混合集成电路的基板键合区残留玻璃相、平整性差以及组装过程中易引入沾污，采用常规的BBOS进行芯片与基板互联时，键合不粘、短线尾异常较多。本研究采用BSOB模式键合，消除键合过程异常。对比了BSOB和BBOS两种键合模式的可靠性，研究了劈刀磨损对BSOB键合可靠性的影响，结果表明，BSOB初始拉力和300 ℃/24h后的拉力及Cpk均明显高于规范值，且键合40万个点后，无明显变化。BSOB属于一个键在另一个键上面形成的复合键合，满足GJB548规范要求。
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