【摘 要】
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利用激光束斜入射到金属板上,再用透镜将激光金属板上的激光光斑成像到CCD上,当金属板发生位移时,CCD上激光光斑的像也将发生位移。通过对光班像位移的测量,就可计算出金属板的位移量。
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利用激光束斜入射到金属板上,再用透镜将激光金属板上的激光光斑成像到CCD上,当金属板发生位移时,CCD上激光光斑的像也将发生位移。通过对光班像位移的测量,就可计算出金属板的位移量。此法也可推广到金属板的厚度测量中。由于金属板表面反射率变化会对测量带来影响,我们已考虑到对此作了修正。此测量方法不但是无接触的,可不受测量对象、不利环境对传感头的影响。故可用于生产过程进行实时监测。
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