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介绍了利用微加工技术制造的电容式压力微传感器的结构设计 ,主要分析了其工作原理 ,论证了测量电路的可行性。最后提供了实验数据并和理论值进行了比较 ,讨论了产生误差的原因。
基于电容器的压力微传感器的研制
【摘 要】
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介绍了利用微加工技术制造的电容式压力微传感器的结构设计 ,主要分析了其工作原理 ,论证了测量电路的可行性。最后提供了实验数据并和理论值进行了比较 ,讨论了产生误差的原因。
【机 构】
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湖南工程学院数理系,贵州工业大学基础部
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2004年02期
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