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MEMS压力传感器由于体积小使得工艺实现存在一定难度,样品的测试分析十分重要。本文对研制的三批样品进行测试分析,判断失效样品的制造原因,通过改进工艺,制备出符合要求样品,给出达标样品测试结果。
一种MEMS压力传感器测试分析
【摘 要】
：
MEMS压力传感器由于体积小使得工艺实现存在一定难度,样品的测试分析十分重要。本文对研制的三批样品进行测试分析,判断失效样品的制造原因,通过改进工艺,制备出符合要求样品
【机 构】
：
沈阳化工大学信息工程学院
【出 处】
：
计量与测试技术
【发表日期】
：
2017年02期
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