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【正】1.引言氧化铟锡(ITO)薄膜是一种透明导电薄膜,在光电子行业具有广泛地应用。二十多年来一直引起人们对它的研究兴趣,ITO薄膜具有铁锰矿结构,少量SnO<sub>2</sub>掺入In<sub>2</sub>O<sub>3</sub>中,Sn<sup>4+</sup>替代In<sup>3+</sup>,每个Sn原子产生一个电子,形成电子导电的n型半导体,ITO薄膜的电阻率非常低(1