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介绍了磁悬浮转子微陀螺的工作原理及有关的微细加工工艺.磁悬浮转子微陀螺的平面线圈是采用光刻、电镀及溅射等微细加工方法来实现的,微转子的加工有冲压、蒸铝沉积等方法,其中冲压能得到质量较好的微转子;上壳体采用体硅腐蚀来制作.初步的实验表明该方案是行之有效的.
磁悬浮转子微陀螺的微细加工工艺研究
【摘 要】
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介绍了磁悬浮转子微陀螺的工作原理及有关的微细加工工艺.磁悬浮转子微陀螺的平面线圈是采用光刻、电镀及溅射等微细加工方法来实现的,微转子的加工有冲压、蒸铝沉积等方法,
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2004年1期
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