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金刚石膜的抛光技术目前已成为影响金刚石膜推广应用的关键技术之一。近年来开发的各种金刚石膜抛光技术都有其各自的优缺点和局限性。基于碳原子扩散的金刚石膜热化学抛光技术因抛光质量好、效率较高、机械损伤小等优点，而具有发展前景。但目前开发的将抛光盘整体加热至高温的热化学抛光方法，存在设备运行复杂、抛光加工成本高等问题。本文综合论述了金刚石膜热化学抛光技术的发展、特点及不同因素对金刚石膜热化学抛光的影响，在此基础上提出了一种稀土金属辅助作用下的金刚石膜超高速抛光新方法。运用扩散理论分析了抛光温度对金刚石膜理论去除率