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该文分析了基于双压电膜驱动微小机器人的惯性冲击式运动原理，建立了机器人压电振子的等效电学模型，采用有限元法对双压电膜驱动器进行模态分析，确定了微小型机器人运动的激励信号频率，并求解了双压电膜等效电学模型中的电学参数。在此基础上对该微小机器人进行了实验测试，结果表明，机器人最高速度为200mm／min，最大输出力为0．1N。