【摘 要】
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(Ti,Al)N是在TiN基础上发展起来的一种多元膜,目前Al元素对(Ti,Al)N膜的性能影响研究较多,但是不够系统,而且存在一些矛盾之处。综述了Al元素在(Ti,Al)N膜中的作用机理和Al铝含量对(Ti,Al)N
【机 构】
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兰州交通大学机电学院,湖南大学材料科学与工程学院
【基金项目】
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兰州交通大学青蓝人才资助项目(2002[145])
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(Ti,Al)N是在TiN基础上发展起来的一种多元膜,目前Al元素对(Ti,Al)N膜的性能影响研究较多,但是不够系统,而且存在一些矛盾之处。综述了Al元素在(Ti,Al)N膜中的作用机理和Al铝含量对(Ti,Al)N膜结构、抗高温氧化、硬度、耐磨性、结合强度等的影响,指出了(Ti,Al)N膜的发展方向。
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