【摘 要】
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本文研究一种籍助于激光光束对平面高反射介质镜面涂层的反射率进行测量的补偿方法。利用两个耦合的谐振腔,可以测定直径为激光光束那么大小区域的反射率,其精度约为±3×10~
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本文研究一种籍助于激光光束对平面高反射介质镜面涂层的反射率进行测量的补偿方法。利用两个耦合的谐振腔,可以测定直径为激光光束那么大小区域的反射率,其精度约为±3×10~(-5)。这种方法也可用来测定单一镜面反射率的相对分布。这时,精度等于该方法的灵敏度±2×10~(-5)。
In this paper, a compensatory method for measuring the reflectivity of a planar highly reflective dielectric mirror coating by means of a laser beam is studied. Using two coupled resonators, the reflectivity of a laser beam in a diameter range of about 3 × 10 ~ (-5) can be measured. This method can also be used to determine the relative distribution of single specular reflectivity. At this time, the accuracy is equal to the sensitivity of this method ± 2 × 10 ~ (-5).
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