【摘 要】
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近十几年来,微机电系统——MEMS技术作为一种使能技术,在各个领域（如机械、生物、光学、射频、能源等）得到了迅速发展,并实现了一定的产业化应用,取得了良好的经济效益。光学ME
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近十几年来,微机电系统——MEMS技术作为一种使能技术,在各个领域（如机械、生物、光学、射频、能源等）得到了迅速发展,并实现了一定的产业化应用,取得了良好的经济效益。光学MEMS使光学元器件具备了体积小、重量轻、性能稳定、成本及功耗低等显著优点,实现了器件中关键结构的动态可控性,这是传统技术所无法比拟的。本文将在前文的基础上,重点介绍国际上其他的科研机构在MEMS微型可编程光栅相关方面的研究情况,对于每一种光栅结构的特点、制作工艺及其面向的应用领域进行了详细说明,最后讨论了MEMS微型可编程光栅的发展趋势
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