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研究了几种不同的钝化膜的γ辐照特性，初步揭示单纯的ＳｉＯ２膜不具备抗γ辐照的能力，厚度为１００ｎｍ涂有聚酰亚胺的ＳｉＯ２膜当辐照剂量小于１０＾６拉德（Ｓｉ）时具有良好的抗γ辐照作用。同时指出了四甲基氢氧化胺对Ｓｉ－ＳｉＯ２界面也有影响。
钝化膜抗γ辐照的研究
【摘 要】
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研究了几种不同的钝化膜的γ辐照特性，初步揭示单纯的ＳｉＯ２膜不具备抗γ辐照的能力，厚度为１００ｎｍ涂有聚酰亚胺的ＳｉＯ２膜当辐照剂量小于１０＾６拉德（Ｓｉ）时具有良好的抗γ辐照作用。同时指出了四甲基氢氧化胺
【机 构】
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西南农业大学基础科技学院物理系
【出 处】
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半导体杂志
【发表日期】
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1997年4期
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