【摘 要】
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利用直流磁控溅射的方法制备Ni80Cr20合金薄膜，以氩气流量、氩气工作压强、溅射功率作为三因素进行正交试验，在溅射时间相同的条件下分别测试了薄膜厚度、表面粗糙度、电阻率并
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利用直流磁控溅射的方法制备Ni80Cr20合金薄膜，以氩气流量、氩气工作压强、溅射功率作为三因素进行正交试验，在溅射时间相同的条件下分别测试了薄膜厚度、表面粗糙度、电阻率并进行了极差分析。分析结果表明：在一定范围内，氩气工作压强与溅射功率对薄膜厚度的影响较大；在氩气工作压强为3．0Pa时，薄膜厚度与溅射功率近似成正比关系；随着氩气流量的增大，Ni80Cr20薄膜厚度呈现先增大后减小的趋势；在氩气流量为50cm3／min时，薄膜厚度达到最大值；各因素对薄膜表面粗糙度及电阻率影响不明显。
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