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提出了一种基于等厚干涉和CCD自动测量圆度误差的新方法。阐述了利用等厚干涉，通过线阵CCD图像处理系统自动测量圆度误差的测量原理。采用最小二乘圆法对测量到的数据进行圆度误差评定，测量结果表明，新方法测量迅速、精确度高。该测量方法可以实现圆度误差的实时在线准确测量，适用与高精度加工工件的进一步精确测量，具有较广阔的应用前景。