KOH溶液制作类圆形硅膜阵列研究

来源 :河南师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：yuerenqiu

【摘要】

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由于单晶硅在碱性腐蚀液中的腐蚀速率呈各向异性,在圆形掩膜下很难实现圆形单晶硅膜的制作.利用添加剂异丙醇（IPA）来改善KOH的腐蚀特性,在KOH与IPA混合腐蚀液体系中制备出类圆

【作者】

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蒋玉荣陈晨秦瑞平杨海刚

【机构】

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河南师范大学物理与电子工程学院,河南师范大学河南省光伏材料重点实验室

【出处】

：

河南师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2013年2期

【关键词】

：

圆形硅膜 MEMS KOH 各向异性腐蚀 circular silicon membrane MEMS KOH anisotropic etching

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由于单晶硅在碱性腐蚀液中的腐蚀速率呈各向异性,在圆形掩膜下很难实现圆形单晶硅膜的制作.利用添加剂异丙醇（IPA）来改善KOH的腐蚀特性,在KOH与IPA混合腐蚀液体系中制备出类圆形硅膜阵列.通过扫描电镜观察腐蚀图形形貌,结果表明带有图案的N型衬底在质量分数为40%的KOH和IPA构成的混合溶液中,腐蚀出底面平整侧壁光滑的圆形硅膜阵列,并且初步探讨导电类型对腐蚀形貌影响机制

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