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现代工艺水平下工序能力指数Cpk的计算

来源 :西安电子科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dawneagle

【摘 要】

：

介绍了工序能力指数Cp 和Cpk 的概念和作用 ,并结合实例 ,通过定量计算指出 ,在工艺不合格品率已降至百万分之几 (PPM :PartsPerMillion)水平的现代工艺情况下 ,用常规计算方

【作 者】

：

贾新章 龚自立 

【机 构】

：

西安电子科技大学微电子所

【出 处】

：

西安电子科技大学学报

【发表日期】

：

2001年04期

【关键词】

：

工序能力指数 正态分布 优化提取 均值 标准偏差 极差 

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介绍了工序能力指数Cp 和Cpk 的概念和作用 ,并结合实例 ,通过定量计算指出 ,在工艺不合格品率已降至百万分之几 (PPM :PartsPerMillion)水平的现代工艺情况下 ,用常规计算方法已不能正确地定量表征并比较不同工序的工艺质量水平 .采用优化提取的方法 ,可以比较精确地得到工序能力指数和工艺不合格品率 .

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