GaAs-Ga1-xAlxAs1-yPy异质结晶格匹配研究

来源 :中国激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gjpttkl

【摘要】

：

本文报告GaAs-Ga1-xAlxAs双异质结激光器制造中,用两种液相外延方法把三元系Ga1-xAlxAs变成四元系Ga1-xAlxAs1-yPy.用X射线衍射仪测试结果表明:最佳的GaAS-Ga1-xAlxAs1-yPy异质结晶格失配可减至1×10-5,相应的失配应力为1.4×107达因/厘米2.用扫描电子显微镜显示结界面很平整.此法大大改善了异质结的制造质量,可望获得高效率长寿命的双异质结激光器.

【作者】

：

郑广富

【机构】

：

永川光电研究所

【出处】

：

中国激光

【发表日期】

：

1981年8期

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