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设计了一种热致驱动MEMS可变电容器，其主要结构由固定于衬底的下极板和可上下活动的上极板组成；上极板由四个对称结构的热驱动器驱动，每个热驱动器主要包括两根冷臂和两根加热臂。通过输入电压，热驱动器发生形变，带动电容器的上极板向上运动，从而使电容值减小。有限元方法模拟结果表明：在4V驱动电压下，加热臂长为150μm时，电容值变为原先的0.3倍；而加热臂长为300μm时，电容值只有原先的1/10。